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| 設備名稱 | RCA清洗機 |
| 用途 | 晶圓的RCA清洗 |
| 操作方式 | 手動/半自動/自動 |
| 適用領域 | 半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等 |
| 適用工藝 | SC-1、SC-2、SPM、BOE、超聲（兆聲）清洗、QDR等； |
| 清洗方式 | 槽式清洗 |
| 可清洗尺寸 | 2吋---12吋晶圓 |
| 主體材質 | 全不銹鋼框架，外包進口PP、PVC板 |
| 槽體材質 | 石英、PVDF、PTFE、NPP等 |
| 溫控精度 | ±1℃ |
| 安全防護 | 自動安全門、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統 |
| 模塊化設計 | 滿足客戶多種工藝及產能的定制化要求 |
| 可編程菜單，方便用戶操作，直觀 | |
| 實時流程顯示，可控性強 | |
| 多級權限密碼，方便管理，安全可靠 | |
| 自動保存生產數據 | |
| 可實現遠程控制 | |
| 可實現功能 | 藥液管理系統（自動供液、自動補液、循環過濾）、在線加熱、甩干、電導率檢測、恒溫系統、百級FFU等 |
